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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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diaokaidi

木蟲 (正式寫手)

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專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)

[求助] 搭建激光干涉光刻平臺(tái)

老板要我搭一個(gè)激光干涉光刻平臺(tái)，剛接觸一頭霧水，求教有經(jīng)驗(yàn)的蟲友
目前選擇266nm YAG脈沖激光，有幾個(gè)問(wèn)題不明確
1. 一般多大的激光能量能滿足要求？激光能量是不是越高越好？
2. 對(duì)相干長(zhǎng)度有什么要求？
3. 光路搭建過(guò)程需要著重考慮哪些問(wèn)題？
4. 需要哪些光學(xué)元件？
目前想到了這幾個(gè)問(wèn)題，還有哪些問(wèn)題要重點(diǎn)考慮？望前輩們暢所欲言，多多益善！

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1樓 2015-06-16 10:40:46

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狗一樣的男人

金蟲 (小有名氣)

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【答案】應(yīng)助回帖

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diaokaidi: 金幣+10, 博學(xué)EPI+1, ★有幫助 2015-06-16 20:35:25

首先你說(shuō)的激光干涉光刻，還用脈沖激光這就有點(diǎn)問(wèn)題，我猜你應(yīng)該是雙光子光刻，1.激光的功率的選擇這樣看你的材料是什么，不同的材料要的功率不同，2相干長(zhǎng)度應(yīng)該沒(méi)有關(guān)系的，3搭建的過(guò)程中主要是準(zhǔn)直和等高4.需要的元件一般就是透鏡，反鏡，你要光刻的話肯定是要物鏡的了，暫時(shí)就這么多了。

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