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quxin1989

新蟲 (初入文壇)

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[求助] 導(dǎo)電襯底上半導(dǎo)體薄膜的電導(dǎo)率怎么測已有1人參與

ITO導(dǎo)電玻璃為襯底，上面沉積了非晶硅薄膜，膜厚知道，想測電導(dǎo)率，用什么方法？

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1樓 2015-06-17 16:35:14

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guxue

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四探針法可以測量薄膜的電阻率。但對設(shè)備要求比較高，具體的你可以咨詢相應(yīng)的廠家。

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回復(fù)此樓

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2樓2015-06-17 16:42:57

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