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wwj_0905銀蟲 (正式寫手)
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[交流]
SEM測表面形貌的問題
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大家好，我想請問一個SEM的問題。 假如我用AB兩個材料混在一起制成了膜，去測試SEM，那么請問最終測得的表面形貌，它是對AB兩個材料導(dǎo)電性能對比度更加敏感，還是對整個膜的表面凹凸更為敏感呢？換而言之，我看到的是A和B互相共混的結(jié)構(gòu)還是AB膜的表面的結(jié)構(gòu)呢？ 還有另外一個問題就是，我昨天看到有的帖子說，如果表層膜薄，而電壓過高，會導(dǎo)致這層膜被穿透，從而測得的是基底的信息，我想請問這種說法對不對？如果表面的薄膜壓根不導(dǎo)電，得到的信息會是什么呢？ 非常感謝。 |
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papaverme
鐵桿木蟲 (正式寫手)
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
wwj_0905: 金幣+2 2015-06-19 06:35:09
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
wwj_0905: 金幣+2 2015-06-19 06:35:09
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如果你的材料不導(dǎo)電，通常制樣時會在表面濺鍍一層導(dǎo)電的金或鉑金，一般不把導(dǎo)電性作為襯度（對比度）的主要來源。 SEM最常用的檢測器是二次電子檢測器，對表面形貌信息更敏感。當(dāng)表面基本沒有形貌起伏時，也能體現(xiàn)出微弱的成分襯度，根據(jù)表面成分的原子序數(shù)不同而有明暗差別。 如果想強化成份襯度，則可采用背散射電子檢測器（沒有二次電子監(jiān)測器那么普及），對表面成分的原子序數(shù)的不同更敏感，當(dāng)成分差別不大時，也會顯現(xiàn)出形貌襯度。 也就是說，SEM圖像，不管是二次電子像還是背散射電子像，都是形貌襯度和成分襯度的混合，只是前者以形貌為主，后者以成分為主，這里的“成分”指原子序數(shù)。 至于“穿透”，是指電子束進入樣品后的散射擴散，電壓越高，樣品原子序數(shù)越小，則電子的穿透深度越大，跟導(dǎo)電性關(guān)系不大。對于SEM常用的二次電子檢測器，通常電子有效的“穿透”深度只有幾納米至十幾納米，而太深入的電子由于激發(fā)出的二次電子逃不出表面，不能被檢測到。 如果擔(dān)心樣品內(nèi)部或這基底信息被打出來，可以用較小的加速電壓。如果就是想看內(nèi)部信息，如果導(dǎo)電性夠好，可以用較高的加速電壓，或者加電壓的同時采用背散射電子檢測器。如果導(dǎo)電性差，就不要加電壓了，加速電壓越高，電荷累積會越嚴重。 如果樣品不導(dǎo)電，由于電荷的累積，進入樣品，沒有被導(dǎo)走的電子會形成電場，排斥新來的入射電子，造成異常的襯度，通常得不到有用的信息，是需要避免的。 |
7樓2015-06-18 23:12:00
3樓2015-06-18 20:20:00
wwj_0905
銀蟲 (正式寫手)
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4樓2015-06-18 20:32:54
5樓2015-06-18 21:26:21
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