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seawindzjr新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
求助，High-K柵極絕緣膜制備工藝的問(wèn)題
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各位大神好，我正在準(zhǔn)備一個(gè)關(guān)于High-K材料的presentation，但是能找到的都是些比較舊的材料比如BaTiO3之類 比較新的材料像HfO2，TiO2只有很多的特性研究，缺陷研究，以及應(yīng)用研究，卻找不到如何制備的資料，這里http://www.chinesevacuum.com/seconds/xuehui/content.asp?id=133，雖然然TiO2膜的多種制備方法，但是沒(méi)有給出優(yōu)缺點(diǎn)，更沒(méi)有提到工業(yè)目前使用的主要是那些方法 另外intel的網(wǎng)頁(yè)我也去看了，他們有提他們的High-K已經(jīng)能做到DK值多少，但是一字不提制備 求大神推薦一些有介紹最新High-K材料制備的網(wǎng)站或者論文，或者公司或者研究所也可以，我試著發(fā)郵件過(guò)去咨詢 萬(wàn)分感謝，實(shí)在不想拿些古董級(jí)資料做presentation，希望能找到盡量新的資訊 |
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