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seawindzjr新蟲 (初入文壇)
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[交流]
求助,High-K柵極絕緣膜制備工藝的問(wèn)題
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各位大神好,我正在準(zhǔn)備一個(gè)關(guān)于High-K材料的presentation,但是能找到的都是些比較舊的材料比如BaTiO3之類 比較新的材料像HfO2,TiO2只有很多的特性研究,缺陷研究,以及應(yīng)用研究,卻找不到如何制備的資料,這里http://www.chinesevacuum.com/seconds/xuehui/content.asp?id=133,雖然然TiO2膜的多種制備方法,但是沒有給出優(yōu)缺點(diǎn),更沒有提到工業(yè)目前使用的主要是那些方法 另外intel的網(wǎng)頁(yè)我也去看了,他們有提他們的High-K已經(jīng)能做到DK值多少,但是一字不提制備 求大神推薦一些有介紹最新High-K材料制備的網(wǎng)站或者論文,或者公司或者研究所也可以,我試著發(fā)郵件過(guò)去咨詢 萬(wàn)分感謝,實(shí)在不想拿些古董級(jí)資料做presentation,希望能找到盡量新的資訊 |
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