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Tao9186銀蟲 (初入文壇)
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CVD沉積溫度 已有2人參與
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| CVD中一般說(shuō)的沉積溫度是指氣體溫度還是基片溫度？ |
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2樓2015-11-17 10:20:18
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4樓2015-11-17 19:17:19
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5樓2015-11-17 19:18:01
6樓2016-03-04 08:56:49
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7樓2021-02-13 02:47:10
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pecvd一般溫度比較低，有些人會(huì)用lift-off來(lái)做氮化硅薄膜的圖形化，所以對(duì)溫度要求就很可以苛刻，所以累積溫度一般不會(huì)超過(guò)110℃，當(dāng)然溫度越高生長(zhǎng)速度越快，薄膜也越致密 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
8樓2021-02-13 02:49:41
4302015060
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9樓2021-02-21 18:37:59
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