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Tao9186銀蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
CVD沉積溫度 已有2人參與
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| CVD中一般說(shuō)的沉積溫度是指氣體溫度還是基片溫度？ |
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cherry1226
新蟲(chóng) (職業(yè)作家)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
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pecvd一般溫度比較低，有些人會(huì)用lift-off來(lái)做氮化硅薄膜的圖形化，所以對(duì)溫度要求就很可以苛刻，所以累積溫度一般不會(huì)超過(guò)110℃，當(dāng)然溫度越高生長(zhǎng)速度越快，薄膜也越致密 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
8樓2021-02-13 02:49:41
guxue
專家顧問(wèn) (知名作家)
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2樓2015-11-17 10:20:18
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3樓2015-11-17 18:23:24
Tao9186
銀蟲(chóng) (初入文壇)
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4樓2015-11-17 19:17:19
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