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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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PZT刻蝕速率的測(cè)量（使用臺(tái)階儀）
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請(qǐng)問PZT刻蝕速率的測(cè)量（使用臺(tái)階儀），我在一個(gè)片子上刻了4次且刻蝕時(shí)間不一樣，分別刻了9min、7min、3min、1min30s（如宏觀圖）。但是在測(cè)3min、1min30s的時(shí)候很不好測(cè)，幾乎不能測(cè)出（我可以估算差不多刻蝕了50nm和25nm）,測(cè)量時(shí)數(shù)據(jù)圖如下。請(qǐng)問各位有沒有相似情況，我的分析是，因?yàn)榭涛g的相對(duì)深度底，臺(tái)階不明顯，刻蝕得不干凈的殘留膜使然，當(dāng)然臟污就更不用說了。 IMG_20151204_212127.jpg IMG_20151204_213039.jpg IMG_20151204_213449.jpg |
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