 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 1226 | 回復(fù): 10 | |||
勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
|
[交流]
PZT刻蝕速率的測量（使用臺階儀）
|
|
請問PZT刻蝕速率的測量（使用臺階儀），我在一個片子上刻了4次且刻蝕時間不一樣，分別刻了9min、7min、3min、1min30s（如宏觀圖）。但是在測3min、1min30s的時候很不好測，幾乎不能測出（我可以估算差不多刻蝕了50nm和25nm）,測量時數(shù)據(jù)圖如下。請問各位有沒有相似情況，我的分析是，因為刻蝕的相對深度底，臺階不明顯，刻蝕得不干凈的殘留膜使然，當然臟污就更不用說了。 IMG_20151204_212127.jpg IMG_20151204_213039.jpg IMG_20151204_213449.jpg |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
南京大學(xué)化學(xué)調(diào)劑
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
材料專碩調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
一志愿華東師范大學(xué)有機化學(xué)專業(yè)，初試351分，復(fù)試被刷求調(diào)劑!
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
283求調(diào)劑（080500）
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
311求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
275求調(diào)劑
已經(jīng)有20人回復(fù)
-
各位老師好，我的一志愿為北京科技大學(xué)085601材料專碩
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
294分080500材料科學(xué)與工程求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
一志愿北京工業(yè)大學(xué)，324分求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
一志愿武漢理工，總分321，英一數(shù)二，求老師收留。
已經(jīng)有11人回復(fù)
634241863
鐵桿木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 10 (幼兒園)
- 金幣: 10595.5
- 紅花: 9
- 帖子: 310
- 在線: 343.7小時
- 蟲號: 1108425
- 注冊: 2010-09-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 功能陶瓷
2樓2015-12-04 22:22:43
勿忘心安里
鐵蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1351.2
- 散金: 105
- 紅花: 2
- 帖子: 193
- 在線: 59.2小時
- 蟲號: 3832540
- 注冊: 2015-04-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2015-12-05 09:08:23
634241863
鐵桿木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 10 (幼兒園)
- 金幣: 10595.5
- 紅花: 9
- 帖子: 310
- 在線: 343.7小時
- 蟲號: 1108425
- 注冊: 2010-09-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 功能陶瓷
4樓2015-12-05 22:20:46
勿忘心安里
鐵蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1351.2
- 散金: 105
- 紅花: 2
- 帖子: 193
- 在線: 59.2小時
- 蟲號: 3832540
- 注冊: 2015-04-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
5樓2015-12-06 00:06:15
6樓2015-12-06 09:01:23
勿忘心安里
鐵蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1351.2
- 散金: 105
- 紅花: 2
- 帖子: 193
- 在線: 59.2小時
- 蟲號: 3832540
- 注冊: 2015-04-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
7樓2015-12-06 10:12:50
vincentwz
鐵桿木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 70 (初中生)
- 金幣: 14720.7
- 散金: 1899
- 紅花: 4
- 帖子: 1652
- 在線: 1292.8小時
- 蟲號: 645650
- 注冊: 2008-11-04
- 專業(yè): 物理電子學(xué)
8樓2015-12-06 17:55:16
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗: +651 - 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
9樓2015-12-07 18:30:10
勿忘心安里
鐵蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1351.2
- 散金: 105
- 紅花: 2
- 帖子: 193
- 在線: 59.2小時
- 蟲號: 3832540
- 注冊: 2015-04-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
10樓2015-12-07 19:27:33
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 勿忘心安里 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 300求調(diào)劑，材料科學(xué)英一數(shù)二 +9 | leaflight 2026-03-24 | 9/450 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 一志愿鄭州大學(xué)，080500學(xué)碩，總分317分求調(diào)劑 +8 | 舉個栗子oi 2026-03-24 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 070300化學(xué)354求調(diào)劑 +6 | 101次希望 2026-03-28 | 6/300 |
|
|
[考研] 求調(diào)劑一志愿武漢理工大學(xué)材料工程（085601） +7 | WW.' 2026-03-23 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑，求導(dǎo)師收 +9 | 天天好運來上岸?/a> 2026-03-24 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 316求調(diào)劑 +7 | 江辭666 2026-03-26 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 085602 化工專碩 338分 求調(diào)劑 +12 | 路癡小琪 2026-03-27 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 346求調(diào)劑 一志愿070303有機化學(xué) +3 | 蘿卜燉青菜 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 340求調(diào)劑 +5 | jhx777 2026-03-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 352分 化工與材料 +5 | 海納百川Ly 2026-03-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿上海理工能源動力（085800）310分求調(diào)劑 +3 | zhangmingc 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +4 | Sanmu-124 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 274求調(diào)劑 +17 | 顧九笙要謙虛 2026-03-24 | 23/1150 |
|
|
|
[考研] 085600，材料與化工321分，求調(diào)劑 +9 | 大饞小子 2026-03-27 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑 +3 | 李嘉圖·S·路 2026-03-27 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 中國科學(xué)院深圳先進技術(shù)研究院-光纖傳感課題組招生-中國科學(xué)院大學(xué)、深圳理工大學(xué)聯(lián)培 +5 | YangTyu1 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +6 | 藍山月 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 347求調(diào)劑 +4 | L when 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿山東大學(xué)藥學(xué)學(xué)碩求調(diào)劑 +3 | 開開心心沒煩惱 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 333求調(diào)劑 +3 | ALULU4408 2026-03-23 | 3/150 |
|