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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » PZT刻蝕速率的測量（使用臺階儀）
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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[交流]
PZT刻蝕速率的測量（使用臺階儀）
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請問PZT刻蝕速率的測量（使用臺階儀），我在一個片子上刻了4次且刻蝕時間不一樣，分別刻了9min、7min、3min、1min30s（如宏觀圖）。但是在測3min、1min30s的時候很不好測，幾乎不能測出（我可以估算差不多刻蝕了50nm和25nm）,測量時數(shù)據(jù)圖如下。請問各位有沒有相似情況，我的分析是，因為刻蝕的相對深度底，臺階不明顯，刻蝕得不干凈的殘留膜使然，當然臟污就更不用說了。 IMG_20151204_212127.jpg IMG_20151204_213039.jpg IMG_20151204_213449.jpg |
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