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納米薄膜表面的光滑度檢驗
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| 采用真空蒸鍍法在單晶半導(dǎo)體晶片上制備晶態(tài)納米薄膜,要求制備的表面光滑如鏡面。請設(shè)計一種實時跟蹤檢測表面是否光滑如鏡面的檢測裝置,并說明其工作原理 |

銅蟲 (小有名氣)
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