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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 無機非金屬 » 交流探討 » 納米薄膜表面的光滑度檢驗
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[求助]
納米薄膜表面的光滑度檢驗
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| 采用真空蒸鍍法在單晶半導體晶片上制備晶態(tài)納米薄膜，要求制備的表面光滑如鏡面。請設計一種實時跟蹤檢測表面是否光滑如鏡面的檢測裝置，并說明其工作原理 |
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2樓2015-12-18 22:06:03
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