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[求助]
納米薄膜表面的光滑度檢驗(yàn)
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| 采用真空蒸鍍法在單晶半導(dǎo)體晶片上制備晶態(tài)納米薄膜，要求制備的表面光滑如鏡面。請(qǐng)?jiān)O(shè)計(jì)一種實(shí)時(shí)跟蹤檢測(cè)表面是否光滑如鏡面的檢測(cè)裝置，并說(shuō)明其工作原理 |
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2樓2015-12-18 22:06:03
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