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sxchcgg872銅蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射制備的氧化釔薄膜熱處理出現(xiàn)裂紋 已有2人參與
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各位老師,您們好!我通過(guò)磁控濺射制備了50um厚的氧化釔薄膜,基底為氧化鋁,制備后SEM發(fā)現(xiàn)200倍下薄膜表面和截面無(wú)裂紋,然后我將樣品放到馬弗爐中熱處理,爐子不抽真空,不通氣氛,關(guān)閉爐體,開(kāi)始加熱,升溫速度和降溫速度均是1度每分鐘,在1100度保溫1小時(shí)然后開(kāi)始降溫至室溫,取出來(lái)后SEM發(fā)現(xiàn)薄膜表面出現(xiàn)了裂紋,希望您能指導(dǎo)下如何避免裂紋的出現(xiàn)?謝謝您! 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
薄膜制備與特性 |
銅蟲(chóng) (小有名氣)
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在論壇看見(jiàn)一個(gè)人分享過(guò)氧化鋁基底的熱膨脹系數(shù)是隨溫度變化的,氧化釔的木有查到這資料,請(qǐng)問(wèn)這兩種材料,氧化鋁基底的膨脹系數(shù)與氧化釔要達(dá)到啥關(guān)系才會(huì)木有裂紋呢, 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

銅蟲(chóng) (小有名氣)
銀蟲(chóng) (初入文壇)
| 你好,我最近在看氧化釔抗等離子腐蝕的文章,其中有些是關(guān)于氧化釔涂層的文章和專(zhuān)利,熱膨脹系數(shù)不同是裂紋裂紋產(chǎn)生的主要原因,Y2O3涂層600℃(7—8 × 10− 6/K),Al2O3基體(7.1 × 10− 6/K),不過(guò),我看到有篇專(zhuān)利說(shuō)能解決這個(gè)問(wèn)題,現(xiàn)上傳給你,希望對(duì)你有用 |

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