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sxchcgg872銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射制備的氧化釔薄膜熱處理出現(xiàn)裂紋 已有2人參與
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各位老師，您們好！我通過磁控濺射制備了50um厚的氧化釔薄膜，基底為氧化鋁，制備后SEM發(fā)現(xiàn)200倍下薄膜表面和截面無(wú)裂紋，然后我將樣品放到馬弗爐中熱處理，爐子不抽真空，不通氣氛，關(guān)閉爐體，開始加熱，升溫速度和降溫速度均是1度每分鐘，在1100度保溫1小時(shí)然后開始降溫至室溫，取出來(lái)后SEM發(fā)現(xiàn)薄膜表面出現(xiàn)了裂紋，希望您能指導(dǎo)下如何避免裂紋的出現(xiàn)？謝謝您！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
sxchcgg872: 金幣+25, ★有幫助, 太感謝老師了�。。� 2015-12-20 15:52:48
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sxchcgg872: 金幣+25, ★有幫助, 太感謝老師了�。。� 2015-12-20 15:52:48
| 你好，我最近在看氧化釔抗等離子腐蝕的文章，其中有些是關(guān)于氧化釔涂層的文章和專利，熱膨脹系數(shù)不同是裂紋裂紋產(chǎn)生的主要原因，Y2O3涂層600℃（7—8 × 10− 6/K），Al2O3基體（7.1 × 10− 6/K），不過，我看到有篇專利說能解決這個(gè)問題，現(xiàn)上傳給你，希望對(duì)你有用 |
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2015-12-20 15:25:14, 216.41 K
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在論壇看見一個(gè)人分享過氧化鋁基底的熱膨脹系數(shù)是隨溫度變化的，氧化釔的木有查到這資料，請(qǐng)問這兩種材料，氧化鋁基底的膨脹系數(shù)與氧化釔要達(dá)到啥關(guān)系才會(huì)木有裂紋呢， 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2015-12-20 07:50:38
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9樓2015-12-23 11:02:35
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Y2O3涂層600℃（7—8 × 10− 6/K），Al2O3基體（7.1 × 10− 6/K），老師好，600度下的兩者熱膨脹系數(shù)資料是在哪查詢到的啊，我還想查查其他溫度下的膨脹系數(shù)，您給我的專利文件，今天看完了，這個(gè)專利講解的是半導(dǎo)體設(shè)備中的一個(gè)關(guān)鍵零部件的制作方法，專利的結(jié)論是表面涂層分為臺(tái)階，臺(tái)階比值小于1.5時(shí)不會(huì)出現(xiàn)裂紋，我們做的涂層沒有臺(tái)階，還是無(wú)法解決裂紋問題啊，想請(qǐng)教您關(guān)于氧化釔不同溫度下的熱膨脹系數(shù)，比如600度，700度，800度，900度（600度的，您已經(jīng)回帖告訴我了，您能否提供資料來(lái)源），非常感謝您的指導(dǎo)，您來(lái)上海我請(qǐng)您吃飯 |
10樓2015-12-23 11:13:03
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