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sxchcgg872銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射制備的氧化釔薄膜熱處理出現(xiàn)裂紋 已有2人參與
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各位老師，您們好！我通過磁控濺射制備了50um厚的氧化釔薄膜，基底為氧化鋁，制備后SEM發(fā)現(xiàn)200倍下薄膜表面和截面無裂紋，然后我將樣品放到馬弗爐中熱處理，爐子不抽真空，不通氣氛，關閉爐體，開始加熱，升溫速度和降溫速度均是1度每分鐘，在1100度保溫1小時然后開始降溫至室溫，取出來后SEM發(fā)現(xiàn)薄膜表面出現(xiàn)了裂紋，希望您能指導下如何避免裂紋的出現(xiàn)？謝謝您！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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 薄膜制備與特性 |
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感謝參與，應助指數(shù) +1
sxchcgg872: 金幣+25, ★有幫助, 太感謝老師了！！！ 2015-12-20 15:52:48
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| 你好，我最近在看氧化釔抗等離子腐蝕的文章，其中有些是關于氧化釔涂層的文章和專利，熱膨脹系數(shù)不同是裂紋裂紋產生的主要原因，Y2O3涂層600℃（7—8 × 10− 6/K），Al2O3基體（7.1 × 10− 6/K），不過，我看到有篇專利說能解決這個問題，現(xiàn)上傳給你，希望對你有用 |
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2015-12-20 15:25:14, 216.41 K
5樓2015-12-20 15:26:23
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在論壇看見一個人分享過氧化鋁基底的熱膨脹系數(shù)是隨溫度變化的，氧化釔的木有查到這資料，請問這兩種材料，氧化鋁基底的膨脹系數(shù)與氧化釔要達到啥關系才會木有裂紋呢， 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2015-12-20 07:50:38
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7樓2015-12-20 22:00:00
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9樓2015-12-23 11:02:35
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Y2O3涂層600℃（7—8 × 10− 6/K），Al2O3基體（7.1 × 10− 6/K），老師好，600度下的兩者熱膨脹系數(shù)資料是在哪查詢到的啊，我還想查查其他溫度下的膨脹系數(shù)，您給我的專利文件，今天看完了，這個專利講解的是半導體設備中的一個關鍵零部件的制作方法，專利的結論是表面涂層分為臺階，臺階比值小于1.5時不會出現(xiàn)裂紋，我們做的涂層沒有臺階，還是無法解決裂紋問題啊，想請教您關于氧化釔不同溫度下的熱膨脹系數(shù)，比如600度，700度，800度，900度（600度的，您已經回帖告訴我了，您能否提供資料來源），非常感謝您的指導，您來上海我請您吃飯 |
10樓2015-12-23 11:13:03
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