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sxchcgg872銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射制備的氧化釔薄膜熱處理出現(xiàn)裂紋 已有2人參與
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各位老師，您們好！我通過(guò)磁控濺射制備了50um厚的氧化釔薄膜，基底為氧化鋁，制備后SEM發(fā)現(xiàn)200倍下薄膜表面和截面無(wú)裂紋，然后我將樣品放到馬弗爐中熱處理，爐子不抽真空，不通氣氛，關(guān)閉爐體，開始加熱，升溫速度和降溫速度均是1度每分鐘，在1100度保溫1小時(shí)然后開始降溫至室溫，取出來(lái)后SEM發(fā)現(xiàn)薄膜表面出現(xiàn)了裂紋，希望您能指導(dǎo)下如何避免裂紋的出現(xiàn)？謝謝您！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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7樓2015-12-20 22:00:00
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2樓2015-12-19 22:06:56
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在論壇看見一個(gè)人分享過(guò)氧化鋁基底的熱膨脹系數(shù)是隨溫度變化的，氧化釔的木有查到這資料，請(qǐng)問(wèn)這兩種材料，氧化鋁基底的膨脹系數(shù)與氧化釔要達(dá)到啥關(guān)系才會(huì)木有裂紋呢， 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2015-12-20 07:50:38
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4樓2015-12-20 07:51:49
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