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audrey380104銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何加工25nm寬的納米溝道 已有4人參與
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大家好，我現(xiàn)在想在SiO2或者Si上加工規(guī)則整齊的豎直向下的納米溝道，如下圖所示： 方法可以是電子束曝光（EBL）或者聚焦離子束(FIB)加工，最好是EBL。由于之前沒有親自操作過EBL，所以對于加工只有25nm左右寬度的溝道不太了解。看文獻上說這之中會遇到諸如鄰近效應等的影響，知道了可以通過調(diào)節(jié)曝光和刻蝕過程中的各項參數(shù)來盡量修正臨近效應。請大家給我點意見和建議，關(guān)于怎么較好的制備出這樣的納米溝道。謝謝   nanotrench.png |
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9樓2015-12-24 13:03:16
感謝參與，應助指數(shù) +1
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2樓2015-12-24 09:41:14
gzj99154037
新蟲 (正式寫手)
- 應助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 80.3
- 紅花: 2
- 帖子: 342
- 在線: 43.3小時
- 蟲號: 1019663
- 注冊: 2010-05-16
- 專業(yè): 電化學
3樓2015-12-24 10:33:12
audrey380104
銀蟲 (小有名氣)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 399.8
- 紅花: 1
- 帖子: 117
- 在線: 373.3小時
- 蟲號: 1348752
- 注冊: 2011-07-18
- 性別: GG
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
4樓2015-12-24 11:31:37
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