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關(guān)于磁控濺射參數(shù) 已有5人參與
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公司要買一臺(tái)國(guó)產(chǎn)磁控濺射，預(yù)算40萬(wàn)左右，需要加溫沉積、反應(yīng)濺射，涉及到的沉積材料有金屬和氧化物薄膜。廠家給的方案如下（55萬(wàn)）：請(qǐng)大家?guī)兔匆幌履男┕梢詢?yōu)化，比如分子泵需不需要進(jìn)口，直流電源、射頻電源、偏壓電源需不需要進(jìn)口，哪些部件可以用便宜些的省下的錢用在其他部件上。畢竟是企業(yè)不是高校，還是希望把錢花在刀刃上。 《產(chǎn)品配置清單》 序號(hào) 名稱 參數(shù) 數(shù)量 生產(chǎn)廠家 1 高真空不銹鋼腔室 約Φ450mm×400mm 1套 沈陽(yáng)科儀 2 腔體防污內(nèi)襯 1套 沈陽(yáng)科儀 3 觀察窗及法蘭 CF100/CF63,配防護(hù)擋板 1套 沈陽(yáng)科儀 4 腔室照明 1只 沈陽(yáng)科儀 5 旋轉(zhuǎn)基片工裝 120mm基片臺(tái) 1套 沈陽(yáng)科儀 6 旋轉(zhuǎn)調(diào)速電機(jī)及電源 1套 沈陽(yáng)科儀 7 基片臺(tái)加熱系統(tǒng) 室溫至600℃可調(diào)可控 1套 沈陽(yáng)科儀 8 腔室烘烤 烘烤溫度：100℃ 1套 沈陽(yáng)科儀 11 溫度測(cè)量、控制系統(tǒng) 日本山武公司溫度控制器， 1套 沈陽(yáng)科儀 PID 控溫、可調(diào)可控 12 陶封電極 CF35四芯 1套 沈陽(yáng)科儀 13 分子泵 Hipace700 685L/s 1臺(tái) 德國(guó)普發(fā) 14 機(jī)械泵 直聯(lián)式旋片泵 TRP-36 1臺(tái) 北京優(yōu)成 15 氣動(dòng)插板閥 CC-150 1臺(tái) 沈陽(yáng)科儀 16 旁抽閥 DF40 1臺(tái) 進(jìn)口SMC 17 氣動(dòng)截止閥 DF40 1支 北京川北 18 電磁充氣閥 DF40 1支 上海西馬特 19 節(jié)流閥 DN150 1臺(tái) 沈陽(yáng)科儀 20 電磁截止閥 DN6 2臺(tái) 北京 21 氣動(dòng)截止閥 DN16 2個(gè) 北京 22 真空抽氣管道 不銹鋼三通及波紋管 2臺(tái) 沈陽(yáng)科儀 23 真空規(guī) 1個(gè) Inficon 24 永磁靶 含1只強(qiáng)磁靶 3只 沈陽(yáng)科儀 25 磁控靶接管組件 3只 沈陽(yáng)科儀 26 靶的擋板 氣動(dòng) 3只 進(jìn)口SMC氣缸 27 1000W直流濺射電源 1臺(tái) 國(guó)產(chǎn)數(shù)字式 28 1000w射頻電源及匹配器 全自動(dòng)匹配 1臺(tái) HK SMITH 29 -200v偏壓電源 -200v 1臺(tái) 沈陽(yáng)科儀 30 質(zhì)量流量控制器 量程0-100SCCM0-20SCCM 2路 國(guó)產(chǎn) 31 控溫電源系統(tǒng) 1套 沈陽(yáng)科儀 32 控制電源 分子泵、機(jī)械泵、電磁閥、水壓報(bào)警、照明烘烤,基片旋轉(zhuǎn)、基體加熱、連鎖控制系統(tǒng)等。1臺(tái) 沈陽(yáng)科儀 34 總控制電源 1臺(tái) 沈陽(yáng)科儀 35 PLC+工控機(jī)+觸摸屏 1套 沈陽(yáng)科儀 36 水管、變通、接嘴、不銹鋼球閥、氣路卡套、管接頭不銹鋼材質(zhì),配套合理管路 1套 沈陽(yáng)科儀 37 氣管、變通、接頭氣體管道金屬管 1套 沈陽(yáng)科儀 38 安裝機(jī)架 表面噴塑、配腳輪、配門 1臺(tái) 沈陽(yáng)科儀 39 靶材 測(cè)試靶材 3塊 沈陽(yáng)科儀 40 低噪音氣泵 1臺(tái) 外購(gòu) 41 專用工具 含工具箱 1套 沈陽(yáng)科儀 42 密封、連接件及其附件 金屬密封（靜密封）+氟膠圈密封 1批 沈陽(yáng)科儀 43 氟橡膠密封圈 相應(yīng)規(guī)格的泵、閥、管路、各軸封處易損密封圈1套 沈陽(yáng)科儀 44 無氧銅墊圈 1套 沈陽(yáng)科儀 45 螺栓、螺母、墊圈、螺釘?shù)葮?biāo)準(zhǔn)件 1套 沈陽(yáng)科儀 |
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2016-02-19 09:36:14, 1.5 M
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pengjinqiang
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3樓2016-02-19 10:13:59
pengjinqiang
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你這是要做什么膜層，你想要什么樣配置 你這寫的總結(jié)起來就是幾大部件 1.真空腔室 2.真空機(jī)組 3.真空檢測(cè) 4.弧源和電源 5.水，氣路系統(tǒng) 6.加熱系統(tǒng) 7.控制系統(tǒng) 你真空規(guī) Inficon 只有1個(gè)薄膜規(guī)嗎 分子泵和機(jī)械泵一個(gè)國(guó)外一個(gè)國(guó)內(nèi)，看你自己需要 偏壓電源最好國(guó)產(chǎn)，進(jìn)口的好，但是太貴了，40萬(wàn)的預(yù)算絕對(duì)不夠 總體來說吧，沈科儀和我們價(jià)格差不多 |
4樓2016-02-19 13:51:24
Friend007 
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樓主你好， 首先，沈科儀報(bào)價(jià)，物有所值，不高。 其次，要想控制成本，可以 1.降低技術(shù)指標(biāo)，如極限真空室。 2.射頻電源采用國(guó)產(chǎn)，功率小一點(diǎn)。 3.分子泵，真空計(jì)都換成國(guó)產(chǎn)。 這樣下來大概要45萬(wàn)。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2016-02-20 15:07:28
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