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chichister金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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二氧化硅上直接鍍金，如何解決粘附性差的問(wèn)題？ 已有1人參與
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| 二氧化硅上直接鍍金的問(wèn)題：金薄膜對(duì)二氧化硅襯底的粘附性很差，一般要做過(guò)渡層，像鈦鎢、鉻等，最近嘗試先鍍了20nm的鈦?zhàn)鲞^(guò)渡層，然后鍍金，蒸鍍方式為電子書(shū)蒸發(fā)。但后續(xù)的工藝中依然有金薄膜嚴(yán)重脫落的問(wèn)題，請(qǐng)教各位蟲(chóng)友，有什么辦法可增加金與二氧化硅之間的粘附性？或者用哪種金屬替代鈦?zhàn)鼍彌_層較好？ |
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2樓2016-02-20 14:13:33
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
chichister: 金幣+5, ★★★很有幫助, 分析很專(zhuān)業(yè)，深入透徹。 2016-02-22 15:32:10
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個(gè)人看法，僅供參考。 二氧化硅是非金屬，金是金屬，非金屬材料與金屬之間的結(jié)合主要是機(jī)械結(jié)合，兩者間的機(jī)械結(jié)合，其結(jié)合力比金屬間結(jié)合力差是正常的。為了增大其結(jié)合力，個(gè)人覺(jué)得對(duì)二氧化硅的欲鍍表面進(jìn)行粗化是個(gè)有效方法，其他的，比如說(shuō)消除二氧化硅的內(nèi)應(yīng)力、表面除油處理、進(jìn)行預(yù)鍍處理等等各方面也可以提高結(jié)合力。如果非要進(jìn)行過(guò)渡層的話(huà)，可以采用一些面心立方結(jié)構(gòu)的金屬為佳，比如銅、鎳、銀之類(lèi)的金屬，因?yàn)榻鸨旧砭褪莊cc 晶格，像鈦、鎢、鉻之類(lèi)的室溫下是bcc 結(jié)構(gòu)，本身就與fcc 晶格的金不是同類(lèi)晶體結(jié)構(gòu)，因此非金屬材料與金屬之間的結(jié)合力不佳基礎(chǔ)上更加不佳，故而更易脫落。 |
3樓2016-02-20 22:58:05
chichister
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4樓2016-02-22 12:27:44
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5樓2016-02-22 12:30:58
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