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chichister金蟲 (正式寫手)
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[求助]
二氧化硅上直接鍍金，如何解決粘附性差的問題？ 已有1人參與
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| 二氧化硅上直接鍍金的問題：金薄膜對二氧化硅襯底的粘附性很差，一般要做過渡層，像鈦鎢、鉻等，最近嘗試先鍍了20nm的鈦做過渡層，然后鍍金，蒸鍍方式為電子書蒸發(fā)。但后續(xù)的工藝中依然有金薄膜嚴重脫落的問題，請教各位蟲友，有什么辦法可增加金與二氧化硅之間的粘附性？或者用哪種金屬替代鈦做緩沖層較好？ |
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chichister
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4樓2016-02-22 12:27:44
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chichister: 金幣+5, ★★★很有幫助, 分析很專業(yè)，深入透徹。 2016-02-22 15:32:10
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個人看法，僅供參考。 二氧化硅是非金屬，金是金屬，非金屬材料與金屬之間的結(jié)合主要是機械結(jié)合，兩者間的機械結(jié)合，其結(jié)合力比金屬間結(jié)合力差是正常的。為了增大其結(jié)合力，個人覺得對二氧化硅的欲鍍表面進行粗化是個有效方法，其他的，比如說消除二氧化硅的內(nèi)應(yīng)力、表面除油處理、進行預(yù)鍍處理等等各方面也可以提高結(jié)合力。如果非要進行過渡層的話，可以采用一些面心立方結(jié)構(gòu)的金屬為佳，比如銅、鎳、銀之類的金屬，因為金本身就是fcc 晶格，像鈦、鎢、鉻之類的室溫下是bcc 結(jié)構(gòu)，本身就與fcc 晶格的金不是同類晶體結(jié)構(gòu)，因此非金屬材料與金屬之間的結(jié)合力不佳基礎(chǔ)上更加不佳，故而更易脫落。 |
3樓2016-02-20 22:58:05
chichister
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5樓2016-02-22 12:30:58
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