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[求助]
用PECVD沉積SiO2薄膜如何實現(xiàn)低漏電率
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1、影響薄膜漏電率的因素有哪些？（特別是SiO2薄膜） 2、用PECVD沉積，主要可以從哪些方面可以優(yōu)化？ 謝謝啦！ |
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dorrnm
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件
2樓2016-03-08 08:58:29
3樓2016-03-08 20:43:04
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芯片制造或者半導(dǎo)體工藝之類的書上都有，你說的這個漏電率是高質(zhì)量膜的一個性質(zhì)吧，趕緊搜高質(zhì)量膜能有點文獻 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2016-03-09 13:14:47
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