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1A1603金蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
用PECVD沉積SiO2薄膜如何實(shí)現(xiàn)低漏電率
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1、影響薄膜漏電率的因素有哪些？（特別是SiO2薄膜） 2、用PECVD沉積，主要可以從哪些方面可以優(yōu)化？ 謝謝啦！ |
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dorrnm
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2樓2016-03-08 08:58:29
1A1603
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3樓2016-03-08 20:43:04
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芯片制造或者半導(dǎo)體工藝之類的書(shū)上都有，你說(shuō)的這個(gè)漏電率是高質(zhì)量膜的一個(gè)性質(zhì)吧，趕緊搜高質(zhì)量膜能有點(diǎn)文獻(xiàn) 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
4樓2016-03-09 13:14:47
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