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[求助]
用PECVD沉積SiO2薄膜如何實現(xiàn)低漏電率
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1、影響薄膜漏電率的因素有哪些？（特別是SiO2薄膜） 2、用PECVD沉積，主要可以從哪些方面可以優(yōu)化？ 謝謝啦！ |
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3樓2016-03-08 20:43:04
dorrnm
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- 專業(yè): 半導體電子器件
2樓2016-03-08 08:58:29
dorrnm
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4樓2016-03-09 13:14:47
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