 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 4063 | 回復(fù): 8 | ||||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | ||||
lwb870525木蟲 (著名寫手)
|
[求助]
射頻磁控濺射中的靶材自偏壓是怎么形成的？（假如放電氣體為Ar） 已有4人參與
|
|||
|
要沉積薄膜的基底放在陽極，靶材放在陰極。當(dāng)射頻電源在兩電極間加上電場后： 1、射頻電源在正周期提供的電場，使得Ar+向靶材（陰極）加速運(yùn)動(dòng)并撞擊靶材，與此同時(shí)電子向基底（方向）運(yùn)動(dòng)，但是由于靶材背面的磁場的洛倫茲力作用，其被限制在了靶材表面附近，提高了等離子體的密度； 2、射頻電場在負(fù)周期時(shí)，陽極和陰極兩電極的電場方向發(fā)生變化，Ar+會(huì)減速向靶材運(yùn)動(dòng)，而電子則會(huì)加速向靶材（陰極）運(yùn)動(dòng)。 以上關(guān)于射頻電場周期性變化時(shí)，Ar+和電子在兩電極間的運(yùn)動(dòng)描述，是不是對的？ 靶材的自偏壓又是如何形成的？ 請大神解釋下，謝謝！ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 薄膜制備與特性 | 薄膜材料和器件制備 |
» 猜你喜歡
材料專碩英一數(shù)二306
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
265求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
265求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
26調(diào)劑/材料/英一數(shù)二/總分289/已過A區(qū)線
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
281求調(diào)劑（0805）
已經(jīng)有21人回復(fù)
-
0817 化學(xué)工程 299分求調(diào)劑 有科研經(jīng)歷 有二區(qū)文章
已經(jīng)有20人回復(fù)
-
279分求調(diào)劑 一志愿211
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
085600材料與化工 求調(diào)劑
已經(jīng)有17人回復(fù)
-
能源材料化學(xué)課題組招收碩士研究生8-10名
已經(jīng)有13人回復(fù)
-
317求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 磁控濺射分為哪幾種電源？是不是電源電離惰性氣體產(chǎn)生等離子的？
已經(jīng)有0人回復(fù)
- 射頻磁控濺射法制備MgO薄膜
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射二氧化硅靶材的過程中會(huì)有氧產(chǎn)生嗎
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 磁控濺射主室的直流和射頻能自己控制嗎
已經(jīng)有2人回復(fù)
- 射頻濺射ZnO/Si異質(zhì)結(jié)太陽能電池的問題
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 射頻磁控濺射鍍金屬靶材如何建立自偏壓？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于射頻磁控濺射鍍膜問題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【求助】ZnO的磁控濺射
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 【交流】磁控濺射中如何避免mask(靶材支架和擋板）被濺射
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 【交流】磁控濺射中陽極罩與靶材之間的距離選擇
已經(jīng)有11人回復(fù)
cord 
鐵桿木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 186 (高中生)
- 金幣: 8374.9
- 散金: 206
- 紅花: 16
- 帖子: 1745
- 在線: 206.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 514399
- 注冊: 2008-02-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
3樓2016-05-02 11:26:30
guxue
專家顧問 (知名作家)
學(xué)習(xí)使人進(jìn)步
-
專家經(jīng)驗(yàn): +1781 - FPI: 3
- 應(yīng)助: 2372 (講師)
- 貴賓: 1.086
- 金幣: 40809.9
- 散金: 102
- 紅花: 158
- 帖子: 6485
- 在線: 609.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 538944
- 注冊: 2008-04-03
- 專業(yè): 無機(jī)非金屬類光電信息與功
- 管轄: 無機(jī)非金屬
2樓2016-05-02 10:21:44
baiyulong_
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 7238.4
- 紅花: 2
- 帖子: 920
- 在線: 92.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 3197818
- 注冊: 2014-05-11
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2016-05-02 13:26:58
lwb870525
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 2219.2
- 散金: 753
- 紅花: 16
- 帖子: 2034
- 在線: 586.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 934457
- 注冊: 2009-12-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2016-05-02 19:00:26
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 能源材料化學(xué)課題組招收碩士研究生8-10名 +4 | 脫穎而出 2026-03-16 | 13/650 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +10 | 妮妮ninicgb 2026-03-15 | 14/700 |
|
|
[考研] 294求調(diào)劑材料與化工專碩 +14 | 陌の森林 2026-03-18 | 14/700 |
|
|
|
[考博] 申博26年 +3 | 八6八68 2026-03-19 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿天大材料與化工（085600）總分338 +5 | 蔡大美女 2026-03-13 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 295求調(diào)劑 +3 | 一志愿京區(qū)211 2026-03-18 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +11 | 冬十三 2026-03-15 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 297求調(diào)劑 +8 | 戲精丹丹丹 2026-03-17 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 331求調(diào)劑（0703有機(jī)化學(xué) +7 | ZY-05 2026-03-13 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +12 | 小熊joy 2026-03-14 | 13/650 |
|
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +4 | 睿08 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 工科材料085601 279求調(diào)劑 +6 | 困于星晨 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 334求調(diào)劑 +3 | 志存高遠(yuǎn)意在機(jī)?/a> 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[碩博家園] 湖北工業(yè)大學(xué) 生命科學(xué)與健康學(xué)院-課題組招收2026級(jí)食品/生物方向碩士 +3 | 1喜春8 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 考研化學(xué)學(xué)碩調(diào)劑，一志愿985 +4 | 張vvvv 2026-03-15 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +3 | 淇ya_~ 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 278求調(diào)劑 +3 | Yy7400 2026-03-13 | 3/150 |
|
|
|
[基金申請]
今年的國基金是打分制嗎？
 50+3
|
zhanghaozhu 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求老師收留調(diào)劑 +4 | jiang姜66 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 本科南京大學(xué)一志愿川大藥學(xué)327 +3 | 麥田耕者 2026-03-14 | 3/150 |
|