 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 657 | 回復(fù): 2 | ||
悠悠青草新蟲 (初入文壇)
|
[求助]
磁控濺射主室的直流和射頻能自己控制嗎
|
| 各位大俠們，你們好，小妹現(xiàn)在遇到大問題。我主要從事薄膜晶體管的研究，我剛買的靶材，是三個(gè)陶瓷靶需要同時(shí)濺射制備薄膜。由于陶瓷靶材不導(dǎo)電，需要用射頻，而不是直流。但是，磁控濺射主室中只有一個(gè)射頻，而有兩個(gè)直流，所以實(shí)驗(yàn)進(jìn)行不下去。在這想請(qǐng)問大俠們，沈科儀的磁控濺射主室的射頻，直流能否自行調(diào)節(jié)，設(shè)置，比如都調(diào)節(jié)成射頻。如果能夠幫我解決此問題，將不甚感激。 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
291求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
生物學(xué)一志愿985，分?jǐn)?shù)349求調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
328求調(diào)劑，英語六級(jí)551，有科研經(jīng)歷
已經(jīng)有12人回復(fù)
-
070300化學(xué)求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
考研化學(xué)308分求調(diào)劑
已經(jīng)有7人回復(fù)
-
一志愿上海交大生物與醫(yī)藥專碩324分，求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
工科0856求調(diào)劑
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
一志愿中國(guó)石油大學(xué)（華東） 本科齊魯工業(yè)大學(xué)
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
279分求調(diào)劑 一志愿211
已經(jīng)有16人回復(fù)
-
求調(diào)劑一志愿武漢理工大學(xué)材料工程（085601）
已經(jīng)有5人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 磁控濺射ITO是用直流的好還是射頻的好？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 關(guān)于磁控濺射直流鍍鋅
已經(jīng)有25人回復(fù)
- 磁控濺射 射頻電源 不能起輝（謝謝）
已經(jīng)有20人回復(fù)
- 新手求助各位大師關(guān)于磁控濺射NiMn靶的問題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- [求助]磁控濺射制備SiN，用的是射頻電源，有輝光，但濺射不上
已經(jīng)有11人回復(fù)
- [求助]磁控濺射設(shè)備中的強(qiáng)磁靶接射頻電源是否會(huì)對(duì)靶位造成損傷？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 直流磁控濺射與射頻磁控濺射鍍銀
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 磁控濺射&離子濺射
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 射頻磁控濺射ZAO陶瓷靶時(shí)遇到的一些問題
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 磁控濺射能起輝，但不能沉積
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 直流磁控濺射 濺射無法起弧 靶材刻蝕嚴(yán)重
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 射頻磁控濺射鍍金屬靶材如何建立自偏壓？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 磁控濺射做薄膜失敗了嗎
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 射頻磁控濺射鍍膜都可以通入哪些氣體
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 直流磁控濺射鍍膜總是被氧化
已經(jīng)有42人回復(fù)
- 【求助】射頻磁控濺射的靶材一般能用幾次？或者多久？
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于射頻磁控濺射鍍膜問題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【求助】請(qǐng)教為什么有人用磁控濺射金屬膜用的是射頻電源
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 【求助】磁控濺射 ZnO鍍膜
已經(jīng)有16人回復(fù)
- 【求助】直流磁控濺射AlN薄膜的工藝條件，比如氮?dú)饬髁俊⒈壤�，鍍膜氣壓？？靶電壓�?/a>
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 磁控濺射射頻功率源的問題
已經(jīng)有4人回復(fù)
|
本帖內(nèi)容被屏蔽 |
2樓2013-03-11 22:45:18
悠悠青草
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 54.5
- 帖子: 6
- 在線: 10.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 2096167
- 注冊(cè): 2012-10-30
- 性別: MM
3樓2013-03-14 15:27:22
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 悠悠青草 的主題更新
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 279分求調(diào)劑 一志愿211 +14 | chaojifeixia 2026-03-19 | 16/800 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 303求調(diào)劑 +3 | 元夕元 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 306求調(diào)劑 +9 | chuanzhu川燭 2026-03-18 | 9/450 |
|
|
[考研] 276求調(diào)劑。有半年電池和半年高分子實(shí)習(xí)經(jīng)歷 +8 | 材料學(xué)257求調(diào)劑 2026-03-23 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 284求調(diào)劑 +6 | Zhao anqi 2026-03-22 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 319求調(diào)劑 +4 | 小力氣珂珂 2026-03-20 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿北京化工大學(xué)070300 學(xué)碩336求調(diào)劑 +5 | vv迷 2026-03-21 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +10 | Faune 2026-03-21 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 化學(xué)調(diào)劑 +5 | yzysaa 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 材料工程專碩 348分求調(diào)劑 +3 | 冬辭. 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿南大，0703化學(xué)，分?jǐn)?shù)336，求調(diào)劑 +3 | 收到VS 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料與化工（0856）304求 B區(qū) 調(diào)劑 +3 | 邱gl 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | 白QF 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 機(jī)械專碩299求調(diào)劑至材料 +3 | kkcoco25 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +6 | △小透明* 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 初始318分求調(diào)劑（有工作經(jīng)驗(yàn)） +3 | 1911236844 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +9 | 何潤(rùn)采123 2026-03-18 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 329求調(diào)劑 +9 | 想上學(xué)吖吖 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 295材料求調(diào)劑，一志愿武漢理工085601專碩 +5 | Charlieyq 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
|
[考研] [導(dǎo)師推薦]西南科技大學(xué)國(guó)防/材料導(dǎo)師推薦 +3 | 尖角小荷 2026-03-16 | 6/300 |
|