 |
 |
 |
| 24小時(shí)熱門版塊排行榜 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 4059 | 回復(fù): 8 | ||||
lwb870525木蟲 (著名寫手)
|
[求助]
射頻磁控濺射中的靶材自偏壓是怎么形成的？（假如放電氣體為Ar） 已有4人參與
|
|
要沉積薄膜的基底放在陽(yáng)極，靶材放在陰極。當(dāng)射頻電源在兩電極間加上電場(chǎng)后： 1、射頻電源在正周期提供的電場(chǎng)，使得Ar+向靶材（陰極）加速運(yùn)動(dòng)并撞擊靶材，與此同時(shí)電子向基底（方向）運(yùn)動(dòng)，但是由于靶材背面的磁場(chǎng)的洛倫茲力作用，其被限制在了靶材表面附近，提高了等離子體的密度； 2、射頻電場(chǎng)在負(fù)周期時(shí)，陽(yáng)極和陰極兩電極的電場(chǎng)方向發(fā)生變化，Ar+會(huì)減速向靶材運(yùn)動(dòng)，而電子則會(huì)加速向靶材（陰極）運(yùn)動(dòng)。 以上關(guān)于射頻電場(chǎng)周期性變化時(shí)，Ar+和電子在兩電極間的運(yùn)動(dòng)描述，是不是對(duì)的？ 靶材的自偏壓又是如何形成的？ 請(qǐng)大神解釋下，謝謝！ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 薄膜制備與特性 | 薄膜材料和器件制備 |
» 猜你喜歡
一志愿中國(guó)海洋大學(xué)，生物學(xué)，301分，求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
081700化工學(xué)碩調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
材料學(xué)碩318求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
329求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿吉林大學(xué)材料學(xué)碩321求調(diào)劑
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
一志愿蘇州大學(xué)材料求調(diào)劑，總分315（英一）
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
0703化學(xué)調(diào)劑
已經(jīng)有14人回復(fù)
-
320求調(diào)劑0856
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
307求調(diào)劑
已經(jīng)有9人回復(fù)
-
288求調(diào)劑
已經(jīng)有15人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 磁控濺射分為哪幾種電源？是不是電源電離惰性氣體產(chǎn)生等離子的？
已經(jīng)有0人回復(fù)
- 射頻磁控濺射法制備MgO薄膜
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射二氧化硅靶材的過(guò)程中會(huì)有氧產(chǎn)生嗎
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 磁控濺射主室的直流和射頻能自己控制嗎
已經(jīng)有2人回復(fù)
- 射頻濺射ZnO/Si異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的問(wèn)題
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 射頻磁控濺射鍍金屬靶材如何建立自偏壓？
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于射頻磁控濺射鍍膜問(wèn)題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 【求助】ZnO的磁控濺射
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 【交流】磁控濺射中如何避免mask(靶材支架和擋板）被濺射
已經(jīng)有13人回復(fù)
- 【交流】磁控濺射中陽(yáng)極罩與靶材之間的距離選擇
已經(jīng)有11人回復(fù)
guxue
專家顧問(wèn) (知名作家)
學(xué)習(xí)使人進(jìn)步
-
專家經(jīng)驗(yàn): +1781 - FPI: 3
- 應(yīng)助: 2372 (講師)
- 貴賓: 1.086
- 金幣: 40809.9
- 散金: 102
- 紅花: 158
- 帖子: 6485
- 在線: 609.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 538944
- 注冊(cè): 2008-04-03
- 專業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類光電信息與功
- 管轄: 無(wú)機(jī)非金屬
2樓2016-05-02 10:21:44
cord 
鐵桿木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 186 (高中生)
- 金幣: 8374.9
- 散金: 206
- 紅花: 16
- 帖子: 1745
- 在線: 206.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 514399
- 注冊(cè): 2008-02-29
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
【答案】應(yīng)助回帖
商家已經(jīng)主動(dòng)聲明此回帖可能含有宣傳內(nèi)容
★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lwb870525: 金幣+3, ★有幫助, 謝謝 2016-05-02 19:00:08
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lwb870525: 金幣+3, ★有幫助, 謝謝 2016-05-02 19:00:08
|
解釋起來(lái)非常長(zhǎng)，可以參考有關(guān)書籍。 簡(jiǎn)單說(shuō)就是等離子體中離子的質(zhì)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于電子的質(zhì)量，在RF交互電場(chǎng)中電子移除速度快于離子移動(dòng)速度，因而形成一個(gè)內(nèi)建電場(chǎng)，產(chǎn)生自偏壓。 |
3樓2016-05-02 11:26:30
baiyulong_
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 7238.4
- 紅花: 2
- 帖子: 920
- 在線: 92.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 3197818
- 注冊(cè): 2014-05-11
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2016-05-02 13:26:58
lwb870525
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 2219.2
- 散金: 753
- 紅花: 16
- 帖子: 2034
- 在線: 586.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 934457
- 注冊(cè): 2009-12-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2016-05-02 19:00:26
baiyulong_
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 7238.4
- 紅花: 2
- 帖子: 920
- 在線: 92.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 3197818
- 注冊(cè): 2014-05-11
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
|
你是調(diào)不出偏壓，還是什么情況？你用的功率多大，正向是多少，反向是多少？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
6樓2016-05-03 06:55:37
cldegg
銅蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 628.5
- 帖子: 168
- 在線: 80小時(shí)
- 蟲號(hào): 2550857
- 注冊(cè): 2013-07-17
- 性別: GG
- 專業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類光電信息與功
7樓2016-05-06 18:51:37
zhangdi2015
捐助貴賓 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 132
- 帖子: 19
- 在線: 49.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 4212762
- 注冊(cè): 2015-11-11
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
8樓2016-06-22 20:34:53
北京眾誠(chéng)新材
捐助貴賓 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 165.1
- 散金: 4
- 帖子: 41
- 在線: 6.5小時(shí)
- 蟲號(hào): 5292898
- 注冊(cè): 2016-11-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬非晶態(tài)、準(zhǔn)晶和納米晶
9樓2016-11-29 18:04:45
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 lwb870525 的主題更新
| 9 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +10 | 妮妮ninicgb 2026-03-15 | 14/700 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +4 | z1z2z3879 2026-03-14 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 本人考085602 化學(xué)工程 專碩 +17 | 不知道叫什么！ 2026-03-15 | 19/950 |
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +6 | lemonzzn 2026-03-16 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 328求調(diào)劑，英語(yǔ)六級(jí)551，有科研經(jīng)歷 +4 | 生物工程調(diào)劑 2026-03-16 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 一志愿中海洋材料工程專碩330分求調(diào)劑 +7 | 小材化本科 2026-03-18 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0817調(diào)劑 +3 | 沒(méi)有答案_ 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +4 | 冬十三 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理材料305分求調(diào)劑 +5 | 想上岸的鯉魚 2026-03-18 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 295求調(diào)劑 +3 | 一志愿京區(qū)211 2026-03-18 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工 +5 | 安全上岸！ 2026-03-16 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 297求調(diào)劑 +8 | 戲精丹丹丹 2026-03-17 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 278求調(diào)劑 +5 | 煙火先于春 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿南京大學(xué)，080500材料科學(xué)與工程，調(diào)劑 +4 | Jy? 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 333求調(diào)劑 +3 | 文思客 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 0856求調(diào)劑 +3 | 劉夢(mèng)微 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0856專碩279求調(diào)劑 +5 | 加油加油！? 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 297求調(diào)劑 +4 | 學(xué)海漂泊 2026-03-13 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 266求調(diào)劑 +4 | 學(xué)員97LZgn 2026-03-13 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 招收0805（材料）調(diào)劑 +3 | 18595523086 2026-03-13 | 3/150 |
|