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shenyang_c金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【交流】磁控濺射 --抽不下去真空 已有19人參與
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現(xiàn)在我的磁控濺射的機器的故障是:真空抽不下去了。經(jīng)過如下: 打開機械泵不能真空抽不下去了,一直是300Pa。 但如果直接將管子連到機械泵上,不經(jīng)過旁抽閥的話,是可以抽真空的。 打電話給廠家,懷疑閘板閥漏氣。O型圈已經(jīng)換成新的了,還有哪里會漏氣呢? 抽真空系統(tǒng)是:機械泵-旁抽閥-閘板閥;機械泵-旁抽閥-濺射腔體。旁抽閥和抽粗真空的管子,使用一個類似三通的接口相接,抽粗真空的時候,會經(jīng)過旁抽閥。 |
木蟲 (正式寫手)

鐵桿木蟲 (著名寫手)
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