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shenyang_c金蟲 (小有名氣)
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[交流]
【交流】磁控濺射 --抽不下去真空 已有19人參與
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現(xiàn)在我的磁控濺射的機(jī)器的故障是：真空抽不下去了。經(jīng)過如下： 打開機(jī)械泵不能真空抽不下去了，一直是300Pa。 但如果直接將管子連到機(jī)械泵上，不經(jīng)過旁抽閥的話，是可以抽真空的。 打電話給廠家，懷疑閘板閥漏氣。O型圈已經(jīng)換成新的了，還有哪里會漏氣呢？ 抽真空系統(tǒng)是：機(jī)械泵-旁抽閥-閘板閥；機(jī)械泵-旁抽閥-濺射腔體。旁抽閥和抽粗真空的管子，使用一個類似三通的接口相接，抽粗真空的時候，會經(jīng)過旁抽閥。 |
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4樓2010-07-08 21:07:02
zguan
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2樓2010-07-08 10:05:27
3樓2010-07-08 17:15:09
cord 
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5樓2010-07-08 22:12:57
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