 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1045 | 回復(fù): 3 | |||
xmcxbjh金蟲 (小有名氣)
|
[交流]
LPCVD制備多晶硅薄膜及表征中的問題 已有2人參與
|
|
1.用LPCVD法制備多晶硅薄膜時(shí)，我用20PA；通了硅烷，一會(huì)后壓強(qiáng)突然發(fā)生改變，我就把壓強(qiáng)調(diào)回來；一會(huì)后壓強(qiáng)又突然改變，我又把壓強(qiáng)調(diào)回來；我的總的鍍膜時(shí)間設(shè)定為0.5小時(shí)，但在這種情況下，20PA時(shí)鍍膜的時(shí)間肯定不準(zhǔn)確！ 有誰也出現(xiàn)過這種情況的��？請高手指點(diǎn)��！ 2.在測方塊電阻時(shí)，我用的直線型四探針，可是每次探針只要和樣品一接觸，電流就從0變成正數(shù)；如果忽略這個(gè)問題，輸出電壓經(jīng)常會(huì)是負(fù)的，而且和電流大小沒有關(guān)系！ 請高手指點(diǎn)�。� 3.多晶硅和單晶硅的電阻率誰大誰小��？ 4.大家測方塊電阻都是怎么測啊？能簡單說下步驟么？ 上述問題請高手作答，我會(huì)自己手工發(fā)放金幣！ 泣謝！ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
304求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
材料工程專碩調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
一志愿天大材料與化工（085600）總分338
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
085700資源與環(huán)境308求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
求材料調(diào)劑
已經(jīng)有8人回復(fù)
-
294求調(diào)劑材料與化工專碩
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
一志愿華中科技大學(xué)，080502，354分求調(diào)劑
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
一志愿吉林大學(xué)材料學(xué)碩321求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
085410人工智能專碩317求調(diào)劑（0854都可以）
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
330求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 高濃度表面活性劑的水溶液有哪些表征方法
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 復(fù)試中遇到的一個(gè)問題
已經(jīng)有28人回復(fù)
- 老板開公司，既不讓做實(shí)驗(yàn)，又沒空改論文，又讓我發(fā)一篇SCI，純模擬的，能發(fā)LP么？？
已經(jīng)有24人回復(fù)
- 輕質(zhì)骨料強(qiáng)度的表征
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 請教高手指點(diǎn)迷津－固體磷核磁表征固體酸酸強(qiáng)度
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 用PECVD和LPCVD能生長的氮化硅膜厚范圍
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 制備真菌孢子懸浮液的問題——是固體好還是液體培養(yǎng)好？
已經(jīng)有18人回復(fù)
- 表征旋涂薄膜的內(nèi)部孔隙率
已經(jīng)有9人回復(fù)
- 溶膠凝膠制備MgO薄膜，其取向生長受襯底影響嗎？
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 請問用AAO制備的納米線做SEM表征后續(xù)處理問題
已經(jīng)有12人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于多晶硅太陽能電池在制備中的Rsh波動(dòng)問題
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 粉體SEM表征，是用銅片還是導(dǎo)電橡膠？
已經(jīng)有15人回復(fù)
knightshui
木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 4420.1
- 散金: 11
- 紅花: 3
- 帖子: 251
- 在線: 109.9小時(shí)
- 蟲號: 742235
- 注冊: 2009-04-07
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
★ ★ ★
小木蟲(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖
lovibond(金幣+2): 鼓勵(lì)交流 2011-07-05 09:00:02
小木蟲(金幣+0.5):給個(gè)紅包，謝謝回帖
lovibond(金幣+2): 鼓勵(lì)交流 2011-07-05 09:00:02
|
1.用LPCVD法制備多晶硅薄膜時(shí)，我用20PA；通了硅烷，一會(huì)后壓強(qiáng)突然發(fā)生改變，我就把壓強(qiáng)調(diào)回來；一會(huì)后壓強(qiáng)又突然改變，我又把壓強(qiáng)調(diào)回來；我的總的鍍膜時(shí)間設(shè)定為0.5小時(shí)，但在這種情況下，20PA時(shí)鍍膜的時(shí)間肯定不準(zhǔn)確！ 這種情況在不是最大抽氣速率的情況下是常見的，你只能試試抽氣速率設(shè)的最大，用通入的氣體量來調(diào)壓強(qiáng)。 2.在測方塊電阻時(shí)，我用的直線型四探針，可是每次探針只要和樣品一接觸，電流就從0變成正數(shù)；如果忽略這個(gè)問題，輸出電壓經(jīng)常會(huì)是負(fù)的，而且和電流大小沒有關(guān)系！ 我們的四探針測試儀是自動(dòng)的，設(shè)置好之后，放上樣品，壓上針，自動(dòng)出數(shù)據(jù)。 3.多晶硅和單晶硅的電阻率誰大誰小��？ 二者的電阻率和摻雜濃度相關(guān)，中等摻雜濃度以下，多晶硅的電阻率高一些。但是高摻雜的情況下，二者其實(shí)差不多了就。 |
2樓2011-07-05 00:40:22
xmcxbjh
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 569
- 帖子: 126
- 在線: 21.4小時(shí)
- 蟲號: 1234594
- 注冊: 2011-03-16
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬材料的制備科學(xué)與跨學(xué)
3樓2011-07-05 08:35:44
hittyk
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 3664.4
- 散金: 287
- 紅花: 1
- 帖子: 495
- 在線: 862.9小時(shí)
- 蟲號: 1953720
- 注冊: 2012-08-24
- 性別: GG
- 專業(yè): 海洋工程
4樓2012-11-13 10:42:32
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 xmcxbjh 的主題更新
| 4 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 267一志愿南京工業(yè)大學(xué)0817化工求調(diào)劑 +8 | SUICHILD 2026-03-12 | 8/400 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 070303一志愿西北大學(xué)學(xué)碩310找調(diào)劑 +6 | d如愿上岸 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué) 305求調(diào)劑 +3 | FY_yy 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿中國海洋大學(xué)，生物學(xué)，301分，求調(diào)劑 +4 | 1孫悟空 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 26調(diào)劑/材料/英一數(shù)二/總分289/已過A區(qū)線 +7 | 步川酷紫123 2026-03-13 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 材料與化工一志愿南昌大學(xué)327求調(diào)劑推薦 +8 | Ncdx123456 2026-03-13 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 0854可跨調(diào)劑，一作一項(xiàng)核心論文五項(xiàng)專利，省、國級證書40+數(shù)一英一287 +8 | 小李0854 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 ，六級已過，有科研經(jīng)歷 +10 | 曦熙兮 2026-03-15 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 331求調(diào)劑（0703有機(jī)化學(xué) +7 | ZY-05 2026-03-13 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)336分求調(diào)劑 +6 | zbzihdhd 2026-03-15 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 334求調(diào)劑 +3 | 志存高遠(yuǎn)意在機(jī)?/a> 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 308求調(diào)劑 +4 | 是Lupa啊 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自動(dòng)化所實(shí)習(xí) +6 | Losir 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研]
 11408 一志愿西電，277分求調(diào)劑
+3
|
zhouzhen654 2026-03-16 | 3/150 |
|
|
|
[基金申請]
今年的國基金是打分制嗎？
 50+3
|
zhanghaozhu 2026-03-14 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +5 | 素年祭語 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 318求調(diào)劑 +3 | Yanyali 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0856求調(diào)劑 +3 | 劉夢微 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿哈工大材料324分求調(diào)劑 +5 | 閆旭東 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考博] 福州大學(xué)楊黃浩課題組招收2026年專業(yè)學(xué)位博士研究生，2026.03.20截止 +3 | Xiangyu_ou 2026-03-12 | 3/150 |
|