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xmcxbjh金蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
LPCVD制備多晶硅薄膜及表征中的問(wèn)題 已有2人參與
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1.用LPCVD法制備多晶硅薄膜時(shí)，我用20PA；通了硅烷，一會(huì)后壓強(qiáng)突然發(fā)生改變，我就把壓強(qiáng)調(diào)回來(lái)；一會(huì)后壓強(qiáng)又突然改變，我又把壓強(qiáng)調(diào)回來(lái)；我的總的鍍膜時(shí)間設(shè)定為0.5小時(shí)，但在這種情況下，20PA時(shí)鍍膜的時(shí)間肯定不準(zhǔn)確！ 有誰(shuí)也出現(xiàn)過(guò)這種情況的��？請(qǐng)高手指點(diǎn)！！ 2.在測(cè)方塊電阻時(shí)，我用的直線型四探針，可是每次探針只要和樣品一接觸，電流就從0變成正數(shù)；如果忽略這個(gè)問(wèn)題，輸出電壓經(jīng)常會(huì)是負(fù)的，而且和電流大小沒(méi)有關(guān)系！ 請(qǐng)高手指點(diǎn)�。� 3.多晶硅和單晶硅的電阻率誰(shuí)大誰(shuí)小�。� 4.大家測(cè)方塊電阻都是怎么測(cè)��？能簡(jiǎn)單說(shuō)下步驟么？ 上述問(wèn)題請(qǐng)高手作答，我會(huì)自己手工發(fā)放金幣！ 泣謝！ |
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3樓2011-07-05 08:35:44
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lovibond(金幣+2): 鼓勵(lì)交流 2011-07-05 09:00:02
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lovibond(金幣+2): 鼓勵(lì)交流 2011-07-05 09:00:02
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1.用LPCVD法制備多晶硅薄膜時(shí)，我用20PA；通了硅烷，一會(huì)后壓強(qiáng)突然發(fā)生改變，我就把壓強(qiáng)調(diào)回來(lái)；一會(huì)后壓強(qiáng)又突然改變，我又把壓強(qiáng)調(diào)回來(lái)；我的總的鍍膜時(shí)間設(shè)定為0.5小時(shí)，但在這種情況下，20PA時(shí)鍍膜的時(shí)間肯定不準(zhǔn)確！ 這種情況在不是最大抽氣速率的情況下是常見(jiàn)的，你只能試試抽氣速率設(shè)的最大，用通入的氣體量來(lái)調(diào)壓強(qiáng)。 2.在測(cè)方塊電阻時(shí)，我用的直線型四探針，可是每次探針只要和樣品一接觸，電流就從0變成正數(shù)；如果忽略這個(gè)問(wèn)題，輸出電壓經(jīng)常會(huì)是負(fù)的，而且和電流大小沒(méi)有關(guān)系！ 我們的四探針測(cè)試儀是自動(dòng)的，設(shè)置好之后，放上樣品，壓上針，自動(dòng)出數(shù)據(jù)。 3.多晶硅和單晶硅的電阻率誰(shuí)大誰(shuí)小��？ 二者的電阻率和摻雜濃度相關(guān)，中等摻雜濃度以下，多晶硅的電阻率高一些。但是高摻雜的情況下，二者其實(shí)差不多了就。 |
2樓2011-07-05 00:40:22
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4樓2012-11-13 10:42:32
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