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濕法刻蝕硅片和鋁箔用什么做掩膜比較好？
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我想濕法刻蝕硅片和鋁箔用什么做掩膜比較好？可不可以不用掩膜？ 硅片刻蝕溶液：硝酸+氫氟酸+醋酸 鋁箔刻蝕溶液：磷酸+乙酸+硝酸+去離子水 硝酸和氫氟酸跟普通的光刻膠會發(fā)生反應(yīng)，請問用什么做掩膜比較好，或者有沒有其他好的刻蝕溶液？ |
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5樓2014-06-10 08:19:39
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