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yangac_至尊木蟲 (著名寫手)
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[求助]
求解決分子泵問題！
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跪求解決分子泵問題�。� 我們用的沈陽科興的磁控濺射儀，半年沒用了，現(xiàn)在開始使用，可是設(shè)備在工作期間，分子泵自動停止運轉(zhuǎn)，以前抽真空幾天都不會出現(xiàn)這種情況，上次拿氮氣槍吹了吹分子泵電源，用了一周正常。昨晚8點開始抽真空，10點的時候抽到10的-4，早上一看停了5555555，這是怎么回事，請高手指點！！急急急�。。� [ Last edited by Pd7577 on 2012-3-23 at 14:13 ] |
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liu2004m
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4樓2012-03-24 10:30:53
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5樓2012-03-26 14:07:57
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