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yangac_至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
求解決分子泵問(wèn)題！
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跪求解決分子泵問(wèn)題�。� 我們用的沈陽(yáng)科興的磁控濺射儀，半年沒(méi)用了，現(xiàn)在開(kāi)始使用，可是設(shè)備在工作期間，分子泵自動(dòng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)，以前抽真空幾天都不會(huì)出現(xiàn)這種情況，上次拿氮?dú)鈽尨盗舜捣肿颖秒娫�，用了一周正常。昨�?點(diǎn)開(kāi)始抽真空，10點(diǎn)的時(shí)候抽到10的-4，早上一看停了5555555，這是怎么回事，請(qǐng)高手指點(diǎn)��！急急急�。�！ [ Last edited by Pd7577 on 2012-3-23 at 14:13 ] |
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yangac_
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4樓2012-03-24 10:30:53
yangac_
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