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lcycomcn鐵桿木蟲 (著名寫手)
千年蟲
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[求助]
磁控濺射 鍍鋁
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| 請問高手,我用射頻、直流兩種磁控濺射的方法在載玻片上鍍鋁,濺射的壓強為1.5pa或0.5pa,濺射的功率從50w、100w、150w、200w,靶和基片的距離5cm。濺射時間40分鐘以上。分別做了近10次試驗,每次都能正常起輝,顏色為紫色,偏紅。可就是鍍不上,載玻片上只能可能到很薄的藍(lán)色的膜,鋁膜應(yīng)該是銀色的吧?請問高手有什么解決辦法?各位有什么經(jīng)驗傳授一下!萬分感激! |


木蟲 (著名寫手)
木蟲 (文壇精英)
至尊木蟲 (知名作家)
小木蟲發(fā)型設(shè)計師
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樓主 我也鍍過Al 也失敗了 鍍完之后就是不導(dǎo)電 后來分析了下可能有以下的原因: 1 條件不成熟,因為是第一次做,所以在條件上沒有把握好,不知樓主何條件? 2 真空度不夠:我們就抽到10的負(fù)4次方,里面有大量的O,致使鍍的不是Al 而是AlO 3 也可能是鍍完后馬上停實驗,使Al馬上被氧化 希望以上可以幫助到樓主 |

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