dizzy1011

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[求助] 大家好，問一個關(guān)于PMMA溶解的問題。已有2人參與

我要在硅片表面做PMMA溶液的圖案化。。

現(xiàn)在PMMA溶液的制備出現(xiàn)了點(diǎn)問題。。

我用的PMMA是996K的。。

在冬天的時候做這個實(shí)驗(yàn)不會有任何問題。。

但是夏天到了，這個實(shí)驗(yàn)就從來沒重復(fù)出來過。

PMMA溶液總有小顆粒和絮狀物在里面，我不知道是出了什么問題，想的辦法都想過了。。

溶劑也換過，氯苯，二氯苯、三氯苯，氯仿，甲苯都試過，都是不成。

實(shí)驗(yàn)室開了除濕機(jī)，配溶液的瓶子也都用烘箱烘過，甚至PMMA的固體也在真空里加熱處理過，應(yīng)該不會存在水汽了雜質(zhì)了。。

不知道為何還是溶解不了，還請大家交流一下。

我是用加熱攪拌的方式制備溶液的，。

需要指出的是，同樣的PMMA，沒有更換過，在冬天可以，甚至4月份還可以，就是從5月中旬到6月份，就沒重復(fù)出來了。。

很是奇怪。。而且各種分子量的PMMA都試過了，120k 350k 540k 都試過了，也不行。溶液里很多小顆粒。

相反，PS 140k的就可以進(jìn)行圖案化。。

大伙幫幫我吧。。

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1樓 2012-06-12 14:02:56

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dizzy1011

新蟲 (初入文壇)

頂

2樓2012-06-12 15:12:40

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vmuch520

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zznjut: 金幣+1, 歡迎交流 2012-06-13 14:13:42

天，你這是寫詩呢？

有時換行又是行間距這么大的。。。
會不會是分子量太大了，濃度多少呢？
和溫度還有關(guān)系，溫度比較關(guān)鍵。。。
1、可以先別攪拌，先溶脹一段時間再攪拌。。。
2、可以配稀點(diǎn)的濃度。。。

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3樓2012-06-12 15:38:53

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ycj9592

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啊呀，我對這個沒有經(jīng)驗(yàn)啊，請同行來解吧

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4樓2012-06-12 16:54:40

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5樓2012-06-13 13:34:42

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6樓2012-06-13 13:34:53

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7樓2012-06-13 13:46:02

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8樓2012-06-13 13:53:16

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9樓2012-06-13 14:01:38

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引用回帖:

9樓: Originally posted by vmuch520 at 2012-06-13 14:01:38
我的意思是，配的時候，先把溶劑加熱到溶解溫度，然后再把PMMA加入。。。...

這樣不好稱量啊。。

做的都是納米級別的東西。。

這樣會誤差很大。。。

我現(xiàn)在又配了一批溶劑是氯苯沸點(diǎn)132℃

我把溫度弄到110℃ 再試試看行不行。

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10樓2012-06-13 14:43:49

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