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luzhong_2007木蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
電子束蒸發(fā)在硅片上鍍ZnO,為什么鍍不上去?
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| 急·····,哪位大俠用過(guò)北儀的電子束蒸發(fā),我現(xiàn)在遇到一個(gè)問(wèn)題:最近在硅片上鍍ZnO,本底氣壓在2.3*10^-3Pa,生長(zhǎng)氣壓在8.5*10^-3Pa,鍍40min為什么鍍不上去啊,源都少的啊?以前按照相同的條件鍍可以在硅片上鍍40min可以鍍100nm左右,就最近剛鍍不上去,哪位蟲(chóng)友有類(lèi)似的問(wèn)題解決了的?注:其他條件跟以前都一樣,就是襯托洗了一下烘干后鍍! |
新蟲(chóng) (小有名氣)
至尊木蟲(chóng) (知名作家)
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