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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜的生長問題
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liuyuexue金蟲 (小有名氣)
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[求助]
薄膜的生長問題
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| 為什么用磁控濺射長的納米薄膜，有的長成柱狀，有的是層狀，比如，面心立方的Ag是層狀，體心立方的V是柱狀的，Ag的功率是100W沉積速率20nm每分，V是200w,沉積速率4nm每分，可是跟功率好像沒關(guān)系，因為Ag的功率是20、40、60 w 的時候也是層狀，V的功率是40、60、140 w的時候也是柱狀，難道跟晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)還是其他的，各位高人，幫幫忙想想啊 |
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