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[求助]
薄膜的生長(zhǎng)問(wèn)題
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| 為什么用磁控濺射長(zhǎng)的納米薄膜，有的長(zhǎng)成柱狀，有的是層狀，比如，面心立方的Ag是層狀，體心立方的V是柱狀的，Ag的功率是100W沉積速率20nm每分，V是200w,沉積速率4nm每分，可是跟功率好像沒(méi)關(guān)系，因?yàn)锳g的功率是20、40、60 w 的時(shí)候也是層狀，V的功率是40、60、140 w的時(shí)候也是柱狀，難道跟晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)還是其他的，各位高人，幫幫忙想想啊 |
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