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liuyuexue金蟲 (小有名氣)
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[求助]
薄膜的生長問題
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| 為什么用磁控濺射長的納米薄膜,有的長成柱狀,有的是層狀,比如,面心立方的Ag是層狀,體心立方的V是柱狀的,Ag的功率是100W沉積速率20nm每分,V是200w,沉積速率4nm每分,可是跟功率好像沒關(guān)系,因為Ag的功率是20、40、60 w 的時候也是層狀,V的功率是40、60、140 w的時候也是柱狀,難道跟晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)還是其他的,各位高人,幫幫忙想想啊 |
PVD技術(shù) |

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