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xiaohunhun木蟲 (著名寫手)
珊瑚島混混,小元家老末
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[求助]
等離子發(fā)射光譜
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我想監(jiān)控磁控濺射腔室內(nèi)部的發(fā)射光譜，但是我不知道怎么確定檢測的光譜，以Cu為例，我在一篇文獻(xiàn)中看見了他的發(fā)射光譜范圍為：Cu I 324．754nm，Cu I 327.396nm，Cu I 333.784nm，Cu I 353.039nm（磁控濺射腔室）。其光譜為圖1： 而在另外一篇文獻(xiàn)中看到其監(jiān)控的特征光譜不是這些，當(dāng)然那份文獻(xiàn)的內(nèi)容是激光激發(fā)的發(fā)射光譜，見圖2 我可以理解在不同的能量驅(qū)動(dòng)下，原子躍遷的能級不同所以光譜不同。 但是我的問題來了，由于我想監(jiān)控我現(xiàn)有設(shè)備（磁控濺射腔室）的Cu的等離子發(fā)射光譜，我怎么確認(rèn)哪一條光譜是Cu的？誰有Cu的全譜線？ 哪位高手能告訴我方法��？ 圖1.jpg 圖2.jpg |
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個(gè)人認(rèn)為，你的理解沒錯(cuò)！就是不同的能量驅(qū)動(dòng)，Cu的特征譜也不同！ 好像有專門的元素特征光譜的數(shù)據(jù)庫，明天找人問問，或者你先在網(wǎng)上搜搜！ |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
xiaohunhun2樓2012-09-05 02:02:24
xiaohunhun
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4樓2012-09-05 08:16:34
xiaohunhun
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5樓2012-09-05 12:22:57
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6樓2012-09-05 15:36:39
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xiaohunhun: 金幣+10, ★★★很有幫助, 先給這么多，呵呵 2012-09-06 20:15:52
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7樓2012-09-06 09:19:29
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xiaohunhun: 金幣+10, ★★★很有幫助, 好吧，既然帥哥這么確認(rèn)，先提一下試試，也希望其他蟲友認(rèn)為對的話支持這個(gè)解答一下，讓我更有底氣啊。呵呵 2012-09-06 23:18:54
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1、由于放電的條件（氣壓，功率，甚至腔室等）不同，原子的譜線會(huì)不一樣，這時(shí)候，我們一般看比較權(quán)威文獻(xiàn)上用的是那條，一般是用最強(qiáng)的譜線。我不是做這個(gè)的，但我肯定關(guān)于Cu的文章很多。 2、樓上說的是正解NIST數(shù)據(jù)庫，包含所有原子的譜線。 但是我認(rèn)為你還是先用光譜儀把整個(gè)波長掃一遍，完了和文獻(xiàn)里面的峰進(jìn)行對照。這個(gè)應(yīng)該省點(diǎn)事。 |
8樓2012-09-06 12:14:42
smoon0506
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xiaohunhun
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