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星落如雨木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
濺射工作氣壓及功率對(duì)RF濺射的影響
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| 請(qǐng)各位蟲(chóng)友指點(diǎn)一下，RF濺射制作薄膜時(shí)，濺射時(shí)工作氣壓（非起始真空度）對(duì)膜的生長(zhǎng)速率和質(zhì)量有何影響？濺射化合物時(shí)，化合物以原子的形式還是以分子的形式生長(zhǎng)形成薄膜？濺射的功率對(duì)膜的生長(zhǎng)速率和質(zhì)量有何影響？高功率是否會(huì)對(duì)薄膜造成較大的物理?yè)p傷？請(qǐng)蟲(chóng)友推薦本這方面的書(shū)。 |
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