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looor木蟲 (小有名氣)
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[求助]
射頻磁控濺射
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你們好，求各位指教！ 我現(xiàn)在用的是WYCD-450型的射頻磁控濺射做鐵氧體材料，功率100W，Ar氛圍2Pa靶材厚2mm，直徑77-75mm，能起輝就是濺射2小時(shí)后，Si片上幾乎和沒濺射一樣，正向功率和反向功率，怎么調(diào)都調(diào)不到1.5一下，求各位大仙們指教��！ |
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looor
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