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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術討論 » 射頻磁控濺射
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looor木蟲 (小有名氣)
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[求助]
射頻磁控濺射
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你們好，求各位指教！ 我現(xiàn)在用的是WYCD-450型的射頻磁控濺射做鐵氧體材料，功率100W，Ar氛圍2Pa靶材厚2mm，直徑77-75mm，能起輝就是濺射2小時后，Si片上幾乎和沒濺射一樣，正向功率和反向功率，怎么調都調不到1.5一下，求各位大仙們指教��！ |
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looor
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2樓2012-11-27 15:48:43
3樓2013-01-13 21:08:10
looor
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4樓2013-03-12 20:16:35
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