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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 專業(yè)學科區(qū) » 物理 » 凝聚態(tài)物理 » 射頻濺射銀膜的速率
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wuzhaofeng金蟲 (正式寫手)
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[求助]
射頻濺射銀膜的速率
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| 我們的磁控濺射設備上沒有直流電源，最近又需要鍍點銀膜，只好用射頻了。網(wǎng)上很難找到射頻鍍銀的工藝這類文章。請做過這方面實驗的蟲友不吝賜教，射頻鍍銀用的參數(shù)和生長速率。 |
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wuzhaofeng
金蟲 (正式寫手)
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2樓2012-12-26 11:03:24
xiaoqing8569
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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