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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 工藝技術 » 膜技術 » 江湖救急。磁控濺射的膜厚測量問題！
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god1999金蟲 (小有名氣)
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江湖救急。磁控濺射的膜厚測量問題！
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| 我用磁控濺射的方法制備的是硅薄膜和鈦薄膜的交替樣品，就是一層硅一層鈦，總層數(shù)大約是60層，但不知道怎么測這樣的膜厚。每一層的膜厚大概是50nm-1μm之間不等，求大俠指教。 |
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avad
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4樓2013-02-26 18:30:57
god1999
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自己頂一個 2樓2013-02-26 15:58:14
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5樓2013-02-26 18:48:51
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6樓2013-02-27 12:27:25
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