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looor木蟲 (小有名氣)
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[求助]
射頻磁控濺射陶瓷靶材開(kāi)裂
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現(xiàn)在做的是鐵氧體薄膜，用的是射頻磁控濺射，鐵氧體陶瓷靶3in,厚度2-3mm，功率60-100W，但是濺射幾分鐘后，靶就裂了，其熔點(diǎn)是1500+，燒結(jié)溫度是1400℃，自然降溫，密度測(cè)得是98%左右，請(qǐng)問(wèn)是什么原因會(huì)導(dǎo)致靶材開(kāi)裂，現(xiàn)在很急啊，馬上就要出數(shù)據(jù)了，現(xiàn)在一無(wú)所獲��！ |
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 磁控濺射靶材資料大全 | PVD鍍膜類技術(shù)資料 |
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