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[交流]
在硅片上鍍金之前對硅片進行表面清洗的若干問題求助 已有5人參與
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大家好，最近在做硅片上鍍金的相關課題，查閱文獻資料后，知道要做這些表面處理工作，但是在具體操作中有一些問題不太明白，就是各部分處理后怎么把硅片取出來呢，用鑷子會不會污染呢，而且鑷子會不會被酸腐蝕呢？各位了解這方面工作的能給我一些指點，謝謝啦~~~ 以下是我查文獻得到的方法，麻煩大家指正啦： 1.將Si 表面依次用1.0 0.3 0.05μm Al2O3 粉在麂皮上打磨至疏水鏡面 2.用超純水清洗后，依次用丙酮和超純水分別超聲清洗3次 3.接著將硅片在Piranha溶液(硫酸體積：雙氧水體積=3：1 ）中浸泡20 min 去除表面的油污殘留 4.用超純水沖洗干凈后將其施鍍面浸入NH4F緩沖溶液中(一體積40% HF和10體積40%氟化銨混合液）刻蝕約2min，得到完全疏水的硅表面，用超純水沖洗干凈 5.取4 mL金鍍液 與65μL 40%HF混合均勻，在55℃ 水浴下施鍍5 min 問題：1.將硅片放在丙酮和超純水中超聲后怎么把硅片拿出來，用不銹鋼的鑷子嗎？那鑷子怎么處理才不會污染硅片呢？ 2.硅片放在Piranha中處理后怎么取出來，用的不銹鋼鑷子的話會被腐蝕的吧，塑料的PP的也會被濃硫酸腐蝕吧？ 3.NH4F緩沖溶液中含有HF，用PP的燒杯裝可以嗎？之后怎么把硅片取出來呢？塑料的鑷子可以嗎？ [ Last edited by 倚風聽雨 on 2013-6-4 at 17:56 ] |
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