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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 學術交流 » 磁控濺射鍍膜
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11lhuang1新蟲 (初入文壇)
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[交流]
磁控濺射鍍膜
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| 磁控濺射鍍薄膜是很常見的一種鍍膜方式，想和大家交流一下鍍膜經(jīng)驗，如何才能得到粘附性好均勻的薄膜。Ar流量、工作壓強、本底真空度、濺射功率、靶基間距等參數(shù)對成膜質量的影響。以及一些磁控濺射法鍍膜的技巧分享。希望專業(yè)人士或有一定了解和經(jīng)驗的人士分享你們經(jīng)驗，拜謝！ |
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 磁控濺射靶材資料大全 |
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