 |
 |
 |
| 24小時熱門版塊排行榜 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 3742 | 回復(fù): 14 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
[求助]
磁控濺射叉指電極制作方案中遇到的問題 已有6人參與
|
|||
|
大家好！我現(xiàn)在介紹下實驗內(nèi)容： 制作一金叉指電極（磁控濺射），其尺寸為10*10mm，其叉指條紋寬度為10um，間距為200um，其叉指條紋數(shù)量20個。 1.定制相應(yīng)尺寸的光刻掩膜板； 2.基片清洗，經(jīng)拋光、丙酮、無水乙醇和去離子水處理后烘干； 3.旋涂光刻膠，采用KW-4A型勻膠機旋涂； 4.掩膜曝光，將掩膜板放入光刻機光刻，并顯影； 5.濺射，將上述基底放入濺射機濺射金屬電極； 6.超聲剝離，浸入丙酮溶液，并用超聲剝離得到叉指電極。 以上制作步驟是胡永明先生專利提供的方法。 我現(xiàn)在遇到的問題是： 1.光刻掩膜板定制的公司及價位（除南京清微電子外）； 2.以上各步驟所需要的制作時間和操作注意事項； 3.光刻技術(shù)相關(guān)設(shè)備型號、實驗材料以及優(yōu)缺點（如光刻機型號、光刻膠型號）。 [ Last edited by congqin312 on 2013-7-11 at 14:46 ] |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
招生負責(zé)_院士團隊_學(xué)生高自由度成長_擅長學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有60人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團隊-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團隊氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 磁控濺射設(shè)備真空問題
已經(jīng)有12人回復(fù)
- 有在玻璃上磁控濺射上金做電極嗎？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 磁控濺射 控制襯底溫度的電極
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 直流磁控濺射與射頻磁控濺射鍍銀
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 磁控濺射&離子濺射
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 【學(xué)術(shù)交流】 磁控濺射——應(yīng)用領(lǐng)域交流
已經(jīng)有16人回復(fù)
- 磁控濺射 鍍鋁
已經(jīng)有54人回復(fù)
- 磁控濺射能起輝，但不能沉積
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 磁控濺射做薄膜失敗了嗎
已經(jīng)有21人回復(fù)
- 求助關(guān)于磁控濺射的問題
已經(jīng)有29人回復(fù)
- 磁控濺射與反應(yīng)磁控濺射
已經(jīng)有18人回復(fù)
- 磁控濺射鍍氧化鋁
已經(jīng)有35人回復(fù)
- 做磁控濺射的朋友請進
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 【求助】請教磁控濺射金屬膜問題
已經(jīng)有23人回復(fù)
- 【求助】磁控濺射做CIGS薄膜太陽能電池
已經(jīng)有12人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于磁控濺射SiO2的問題
已經(jīng)有14人回復(fù)
- 【求助】磁控濺射儀相關(guān)
已經(jīng)有8人回復(fù)
ledlau
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 24 (小學(xué)生)
- 金幣: 4066.4
- 散金: 110
- 紅花: 11
- 帖子: 1463
- 在線: 331.1小時
- 蟲號: 1278255
- 注冊: 2011-04-26
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機械系統(tǒng)
8樓2013-07-10 19:17:49
東風(fēng)燕
銅蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 2 (幼兒園)
- 金幣: 551.1
- 帖子: 158
- 在線: 118.3小時
- 蟲號: 1738386
- 注冊: 2012-04-05
- 性別: GG
- 專業(yè): 機械工程
2樓2013-07-08 18:16:14
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗: +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.9
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時
- 蟲號: 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
3樓2013-07-08 22:27:48
4樓2013-07-09 09:55:13
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 333求調(diào)劑 +3 | ALULU4408 2026-03-23 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 07化學(xué)280分求調(diào)劑 +3 | 722865 2026-03-23 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 350求調(diào)劑 +6 | weudhdk 2026-03-19 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 276求調(diào)劑 +3 | YNRYG 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑一志愿海大，0703化學(xué)學(xué)碩304分，有大創(chuàng)項目，四級已過 +6 | 幸運哩哩 2026-03-22 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 化學(xué)調(diào)劑 +5 | yzysaa 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +4 | 要好好無聊 2026-03-21 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 求助 +5 | 夢里的無言 2026-03-21 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)297求調(diào)劑 +3 | Daisy☆ 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 336求調(diào)劑 +5 | rmc8866 2026-03-21 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 299求調(diào)劑 +6 | △小透明* 2026-03-17 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 化學(xué)求調(diào)劑 +4 | 臨澤境llllll 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿中海洋材料工程專碩330分求調(diào)劑 +8 | 小材化本科 2026-03-18 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 317求調(diào)劑 +5 | 申子申申 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 一志愿蘇州大學(xué)材料求調(diào)劑，總分315（英一） +5 | sbdksD 2026-03-19 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | eation27 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 廣西大學(xué)家禽遺傳育種課題組2026年碩士招生（接收計算機專業(yè)調(diào)劑） +3 | 123阿標(biāo) 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 【同濟軟件】軟件（085405）考研求調(diào)劑 +3 | 2026eternal 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿] 有沒有大佬發(fā)小論文能帶我個二作 +3 | 增銳漏人 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +3 | 淇ya_~ 2026-03-17 | 5/250 |
|